서강대학교는 본교 화공생명공학과 문준혁 교수 연구팀이 고성능 반도체 공정을 이용해 탄소 소재를 합성하는 기술을 개발했다고 3일 밝혔다.

해당 연구성과는 지난달 18일 에너지 분야 국제 전문학술지 ‘에너지 스토리지 머티리얼스’(Energy Storage Materials, 임팩트팩터: 20.831)에 게재됐다.

서강대에 따르면 반도체 공정은 정밀한 반도체 소자를 만드는 여러 과정 중에 대표적으로 포토리소그래피, 산화, 증착 등이 있다. 문준혁 교수 연구팀은 반도체 공정을 활용해 에너지 저장 소자에 전극으로 활용되는 다공성 탄소 소재를 합성하는 데 성공했다.

또한, 포토리소그래피를 이용해 만든 포토레지스트 패턴을 고온 열처리해 탄소화할 때 패턴에 산화막을 입히는 경우 산화막의 지지력에 의해 다공성 탄소 구조가 형성되는 새로운 공정 기술을 개발했다.

문준혁 교수는 “반도체 공정 기술을 반도체 소자가 아닌 에너지 소재 합성에도 적용할 수 있다”며 “이렇게 만들어진 소재를 소퍼커패시터 및 리튬공기전지에 직접 실증했다는 데 그 의의가 있다”고 전했다.

이 연구는 한국연구재단의 중견연구자 사업 등의 지원으로 수행됐으며, 문준혁 교수(교신저자)와 김철호 박사(제1저자, 현 서강대 post-doc)의 주도로 이뤄졌다.